电子行业超纯水系统是利用现在的电子技术进行提炼纯水系统,它根据原水的水质情况,对原水进行脱盐处理,由于电子行业对于水中的离子含量要求非常高,所以我们公司的超纯水系统也是选择的反渗透技术,搭配业内的EDI设备,混床技术,使得产生水质可达到18.25MΩcm,水质可符合国内外用水标准。

目前国内工业部门将电子级用水水质分为五大标准,分别为18MΩcm,15MΩcm,10MΩcm,2MΩcm和0.5MΩcm,以区分使用要求的用水水质情况。

工艺流程:

预处理-反渗透-中间水箱-水泵-EDI装置-纯化水箱-纯水泵-紫外线杀菌器-抛光混床-0.2或0.5μm精密过滤器-用水对象(≥18MΩ.CM)

预处理-一级反渗透-加药泵(PH调节)-中间水箱-第二级反渗透(正电荷反渗膜)-纯水箱-纯水泵-EDI装置-紫外线杀菌器-0.2或0.5μm精密过滤器-用水对象(≥17MΩ.CM)

预处理-反渗透-中间水箱-水泵-EDI装置-纯水箱-纯水泵-紫外线杀菌器-0.2或0.5μm精密过滤器-用水对象(≥15MΩ.CM)

适用领域:

生产半导体、光伏太阳能、集成电路芯片、液晶显示、高精度线路板、光电器件、各种电子元器件、半导体材料、器件、印刷电路板、集成电路成品、半成品用超纯水等电子工业用超纯水系统。

工艺设计方案介绍:

1、一级预处理系统:采用石英砂多介质过滤器,主要目的是去除源水中含有的泥沙、铁锈、胶体物质、悬浮物等颗粒在20m以上对人体有害的物质,系统可以自动(手动)进行反冲洗,正冲洗等一系列操作。

2、二级预处理系统:采用果壳活性碳过滤器,目的是为了去除水中的色素、异味、生化有机物、降低水的余氯值及农药污染和其他对人体有害的污染物。系统可以自动(手动)进行反冲洗,正冲洗等一系列操作。

3、三级预处理系统:采用阳树脂对水进行软化,主要是降低水的硬度,去除水中的钙、镁离子(形成水垢的主要成分),可有效延长反渗透膜的使用寿命,并可进行智能化树脂再生。

4、四级预处理系统:采用5um孔径精密过滤器,使水得到进一步的净化,使水的浊度和色度达到优化。保证RO系统进水条件要求,保证设备的产水质量,延长设备的使用寿命。

5、紫外线消毒:借助于短波(180nm-254 nm)紫外线照射分解水中的不易被活性炭吸附的小有机化合物,如甲醇、乙醇等,使其转变成CO2和水,以降低TOC的指标。

6、离子交换:已知混合离子交换床是除去水中离子的决定性手段。借助于多级混合床获得超纯水也并不困难。但水的TOC指标主要来自树脂床。因此高质量的离子交换树脂就成为成功的关键。所谓高质量的树脂,就是化学稳定性特别好,不分解,不含低聚物、单体和添加剂等的树脂。

7、EDI设备:通过阳、阴离子膜对阳、阴离子的选择透过作用以及离子交换树脂对水中离子的交换作用,在电场的作用下实现水中离子的定向迁移,从而达到水的深度净化除盐,并通过水电解产生的氢离子和氢氧根离子对装填树脂进行连续再生,因此EDI制水过程不需酸、碱化学药品再生即可连续制取高品质超纯水。